产品
干燥树脂
主要特点
气相化学过滤器一般用于产生恶臭及有害气体的工业现场,通过去除AMC*,
提高半导体、OLED等超精密电子电气制造工艺的良率,并保护作业人员。
TRILITE®干燥树脂生产和供应适合各种气相化学过滤器的干燥树脂,
可根据客户公司的要求供应多种离子型、粒度、含水量等的定制型产品,最大限度地提高现场作业性与性能。
* AMC(Airborne Molecular Contamination)
可能会对产品生产工艺或人体等造成不良影响的分子物质在空气中扩散的污染
气体去除机制
离子交换树脂酸性气体(Acid Gas)去除机理
离子交换树脂的氢氧根离子(OH⁻)与盐酸(HCl)、氢氟酸(HF)、硫酸(H₂SO₄)等酸性气体发生中和反应,
生成盐和水,从而去除气体。
- Reaction pathway of Acid gas
-
-R-N-OH + HCl → -R-N-Cl + H2O
-R-N-OH + HF → -R-N-F + H2O
2(-R-N-OH) + H2SO4 → 2(-R-N-)SO4 + 2H2O
离子交换树脂碱性气体(Base Gas)去除机理
离子交换树脂的磺酸基(-SO₃H)与氨(NH₃)等碱性气体反应,从而去除气体。
- Reaction pathway of Base gas
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R-SO3H + NH4OH → R-SO3NH4 + H2O
应用领域
产品
| 产品名称 | 产品分类 | 信息 | TDS |
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